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光刻机板块低开高走 晶方科技涨停
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半导体产业链整体活跃，带动光刻机板块盘中走出低开高走行情，晶方科技、海立股份涨停，波长光电、茂莱光学、张江高科、凯美特气均大涨超5%。

（文章来源：财联社）